2025-04-06 04:15:12
氦檢儀是什么?氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得較普遍的氦檢儀器。氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器普遍地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較,本底噪聲明顯減小。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。檢漏過程中,如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進人氦質(zhì)譜檢漏儀,應立即移去吸口。金華進口氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時,不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當真空度P1優(yōu)于200Pa時,打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當P1降至20Pa時,入口閥2關(guān)閉,入口閥3打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應時間縮短,此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。金華進口氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)。
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時,產(chǎn)生測量誤差的主要來源主要包括幾個方面:一、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準靈敏度時,標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,即,標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,這會導致經(jīng)二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導致無法換算,這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。三、所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。四、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進人磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。氦檢儀自動化程度高;
影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些?氦檢儀檢漏時,產(chǎn)生測量誤差的主要來源主要包括8個方面:第1,氦檢儀在校準靈敏度時,標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,即,標準漏孔與被檢漏孔至氦檢儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,這會導致經(jīng)二者進入氦檢儀的氦氣量可比性差。第二,進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導致無法換算,這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。第三,所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。第四,氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五,校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時,所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六,氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七,氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。第八,之后也就是檢漏操作人員的因素,包括素質(zhì)、責任心、技術(shù)水平以及工作經(jīng)驗等。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度高,用得普遍的氦檢儀器。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點部分,它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測量部分。舟山客制化氦質(zhì)譜檢漏儀
氦檢儀不只靈敏度高,而且操作方便;金華進口氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢
氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項:1.如果儀器不是每天使用,建議每周開機檢查一下,使儀器高真空系統(tǒng)保持真空,縮短儀器使用時的開機時間2.拆卸儀器部件(如離子源)后,安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,可用儀器進行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥等)進行自身檢漏,發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊,以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.氦質(zhì)譜檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。(散熱口灰塵處理,和泵油的檢查更換)。5.禁止任何外來物掉在或灑在氦質(zhì)譜檢漏儀上,尤其是進氣口中,由于氦質(zhì)譜檢漏儀為高精度精密儀器,其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。金華進口氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢