氦檢儀是什么？氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得較普遍的氦檢儀器。氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器普遍地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較，本底噪聲明顯減小。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀的的可檢漏率是多少？上海國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi)，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩(wěn)定，電壓過高會燒壞電源，嚴(yán)重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中，若搬動氦檢儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦檢儀應(yīng)按照說明書的要求定期進行保養(yǎng)，保養(yǎng)的項目有更換機械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。④氦檢儀在運行了2000h后應(yīng)對前級泵進行維修和保養(yǎng)，運行7000h分子泵進行維護和保養(yǎng)。上海推車式氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)廠家氦質(zhì)譜檢漏儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。

氦檢儀應(yīng)用領(lǐng)域：工業(yè)：真空爐、鍍膜系統(tǒng)、壓力容器、超高真空工程。高能物理：加速器、束線、同步輻射光源?？蒲蓄I(lǐng)域：空間模擬系統(tǒng)、試驗裝置、微電子、表面分析系統(tǒng)。半導(dǎo)體及電子：工藝設(shè)備、氣路、氣路傳輸設(shè)備、電子元器件、封裝。汽車制冷：蒸發(fā)器、空調(diào)、管路。核工業(yè)：核電閥門、核容器。航空航天：空間模擬器、航天器、管路。電廠：管道、蒸汽發(fā)生器、熱交換器、冷凝器。氦檢儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比，具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬，此外氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以**可靠。

氦檢儀產(chǎn)生測量誤差主要包括哪幾個方面？第1，當(dāng)氦質(zhì)譜泄漏檢測器校準(zhǔn)靈敏度時，標(biāo)準(zhǔn)泄漏的位置與檢測泄漏的位置不同，即標(biāo)準(zhǔn)泄漏與檢測泄漏檢測器之間的距離太大，在途中泄漏氦的損失不相等，導(dǎo)致進入檢測泄漏檢測器的氦量可比性差。第二，進入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算，這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。第三，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。第四，氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五，校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六，氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七，氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。氦檢儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得較普遍的氦檢儀器。

氦檢儀的工作原理：氦檢儀先在質(zhì)譜室中將采集的被測氣體電離，再利用電磁場將不同荷質(zhì)比的離子加以分離檢測,從中檢測出事先安排的示蹤氦離子，主要由三大組件構(gòu)成:真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室和電子學(xué)控制單元。氦檢儀內(nèi)部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點部分，它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測量部分。質(zhì)譜室入口連接在渦輪分子泵的前級真空部分，分子泵對不同的氣體具有不同的壓縮比特性，氦氣的壓縮比很小，可以逆著分子泵的抽氣方向流動進入質(zhì)譜室。在質(zhì)譜室中氦氣被電離，氦離子通過質(zhì)量分析器的篩選到達收集極，產(chǎn)生一個正比于離子數(shù)量的電流信號，該信號經(jīng)過放大和處理即為泄漏率。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。寧波便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修？上海國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則：1、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，由于一個設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個單個漏孔，所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數(shù)量級。如一個設(shè)備的允許漏率為10-11w，而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行，經(jīng)濟實用。為保證測試漏率真實有效：（1）標(biāo)準(zhǔn)漏孔每年送有專業(yè)資質(zhì)計量單位計量；（2）使用兩年以上建議更換標(biāo)準(zhǔn)漏孔。上海國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊