主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探針臺(低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應(yīng)探針臺，表面電阻率探針臺。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。上海磁場探針臺配件廠家

半自動型：chuck尺寸800mm/600mm；X,Y電動移動行程200mm/150mm；chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm；可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡；針座擺放個數(shù)6～8顆；顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"；可搭配Probecard測試；適用領(lǐng)域：8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。電動型：chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金）；X,Y電動移動行程300mmx300mm；chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u；可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡；針座擺放個數(shù)8～12顆；顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“；材質(zhì)：花崗巖臺面+不銹鋼；可搭配Probecard測試；適用領(lǐng)域：12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。上海磁場探針臺配件廠家從功能上來區(qū)分有：高溫探針臺，低溫探針臺，RF探針臺，LCD平板探針臺，表面電阻率探針臺。

探針臺工作臺由兩個步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運(yùn)動，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌。由于運(yùn)動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3℃，濕度≤70%，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中，從直線導(dǎo)軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復(fù)性，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài)，所以對需要調(diào)整的工作臺應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。

探針臺市場占有率及行業(yè)分析：針對于電學(xué)量測分析設(shè)備，探針臺則是眾多量測設(shè)備之一，探針臺也是不可或缺的一部分，就目前國內(nèi)探針臺設(shè)備的占有率來講，好的型產(chǎn)品主要集中在歐美以及日本品牌，中端設(shè)備主要集中在品牌，而對于量測精度而言，產(chǎn)設(shè)備具有一定的優(yōu)勢，我公司探針臺系列產(chǎn)品量測組件均采用歐美品牌設(shè)備，所以在量測精度上來講，可以與歐美及日本品牌相媲美，價格適中，應(yīng)用普遍，并與國內(nèi)多家高校及研究所合作。這是由于射頻傳輸線和電壓探針之間缺乏阻抗匹配，插入常用電壓探針會使得結(jié)果出現(xiàn)很大偏差。探針臺測片子時，用細(xì)砂子輕輕打磨針尖并通以氮?dú)猓瑴p緩氧化過程。

探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析，抽查測試等用途。探針臺是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針(射頻或直流探針)，準(zhǔn)確扎到被測點(diǎn)，從而使其訊號線與外部測試機(jī)導(dǎo)通，通過測試機(jī)測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。在檢測虛焊和斷路的時候，探針卡用戶經(jīng)常需要為路徑電阻指定一個標(biāo)稱值。上海磁場探針臺

探針臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。上海磁場探針臺配件廠家

高性能密閉微暗室有效屏蔽：腔體采用導(dǎo)電的處理工藝，確保了各零件之間的導(dǎo)通狀態(tài)從而達(dá)到全屏蔽的效果，降低系統(tǒng)噪聲，有效屏蔽外界干擾，并提供低漏電流保護(hù)，為微弱電信號測試提供了合理的測試環(huán)境；同時也注意零件配合以及裝配的同時，保證內(nèi)部的密封性。對于一些特殊的器件/晶圓需要在高低溫的情況進(jìn)行環(huán)境的模擬測試，有效地避免了空氣中的水分在樣品上結(jié)露或者結(jié)霜的存在，通過氣流的特性，填充滿密封腔體內(nèi)，使腔體里內(nèi)的氣體露的點(diǎn)進(jìn)行降低直至到一定的點(diǎn)。上海磁場探針臺配件廠家