相對于平面電機(jī)工作臺(tái)，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜，工作臺(tái)由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件，所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3℃，濕度≤70%，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過程中，從直線導(dǎo)軌的直線性，上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性。適用于對芯片進(jìn)行科研分析，抽查測試等用途。上海直流探針臺(tái)供應(yīng)商

晶圓探針測試臺(tái)是半導(dǎo)體工藝線上的中間測試設(shè)備，與測試儀連接后，能自動(dòng)完成對集成電路及各種晶體管芯電參數(shù)和功能的測試。隨著對高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、**格的電子產(chǎn)品的需求日益增長，這就要求在一個(gè)芯片中集成更多的功能并進(jìn)一步縮小尺寸，從而大片徑和高效率測試將是今后晶圓探針測試臺(tái)發(fā)展的主要方向。因此，傳統(tǒng)的手動(dòng)探針測試臺(tái)和半自動(dòng)探針測試臺(tái)已經(jīng)不能滿足要求，取而代之的是高速度，高精度，高自動(dòng)化，高可靠性的全自動(dòng)晶圓探針測試臺(tái)。上海直流探針臺(tái)供應(yīng)商探針臺(tái)故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的。

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺(tái)從操作上來區(qū)分有：手動(dòng)，半自動(dòng)，全自動(dòng)從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺(tái)，真空探針臺(tái)(低溫探針臺(tái))，RF探針臺(tái)，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái)，表面電阻率探針臺(tái)。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。自動(dòng)探針測試臺(tái)在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺(tái)，可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類。

探針臺(tái)是檢測芯片的重要設(shè)備，在芯片的設(shè)計(jì)驗(yàn)證階段，主要工作是檢測芯片設(shè)計(jì)的功能是否能夠達(dá)到芯片的技術(shù)指標(biāo)，在檢測過程中會(huì)對芯片樣品逐一檢查，只有通過設(shè)計(jì)驗(yàn)證的產(chǎn)品型號(hào)才會(huì)量產(chǎn)。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或?qū)ｉT的測試代工廠進(jìn)行，主要用到的設(shè)備為測試機(jī)和探針臺(tái)。半導(dǎo)體行業(yè)向來有“一代設(shè)備，一代工藝，一代產(chǎn)品”的說法。半導(dǎo)體設(shè)備價(jià)值普遍較高，一條先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)線投資中，設(shè)備價(jià)值約占總投資規(guī)模的75%以上。隨著全球半導(dǎo)體行業(yè)市場規(guī)模不斷擴(kuò)大，半導(dǎo)體設(shè)備市場也呈增長趨勢。根據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì)，全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額從2013年的318億美元增長至2018年的645億美元，年復(fù)合增長率約為15.2%，但受到半導(dǎo)體行業(yè)景氣度下滑及宏觀經(jīng)濟(jì)環(huán)境影響，2019年、2020年一季度增長有所下降，但預(yù)計(jì)疫病過后，將恢復(fù)增長。盡管隨著探針壓力的增強(qiáng)，接觸電阻逐漸降低，終它會(huì)達(dá)到兩金屬的標(biāo)稱接觸電阻值。

x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)：無論是全自動(dòng)探針測試臺(tái)還是自動(dòng)探針測試臺(tái)，x-y向工作臺(tái)都是其很重心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺(tái)的故障，而工作臺(tái)故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要?，F(xiàn)在只對自動(dòng)探針測試臺(tái)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)：平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)，動(dòng)子和定子間有一層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)，由于動(dòng)子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。探針卡沒焊到位，是因?yàn)楹稿a時(shí)針受熱要稍微的收縮，使針尖偏離壓點(diǎn)區(qū)。上海直流探針臺(tái)供應(yīng)商

焊針時(shí)，應(yīng)憑自己的經(jīng)驗(yàn),把針尖離壓點(diǎn)中心稍微偏一點(diǎn)。上海直流探針臺(tái)供應(yīng)商

平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺(tái)：平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)，動(dòng)子和定子間有一層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)，由于動(dòng)子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求如分辨力等，用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個(gè)線槽，線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距，而定子則按不同的細(xì)分控制方式，按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動(dòng)子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)。上海直流探針臺(tái)供應(yīng)商