半導(dǎo)體刻蝕工藝中產(chǎn)生的含氟氣體（如 CF4、SF6）對(duì)螺桿真空泵腐蝕性極強(qiáng)，需從材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、后處理三方面制定方案。材質(zhì)選擇上，轉(zhuǎn)子采用哈氏合金或蒙乃爾合金，這類合金含鎳量超 60%，在氟化物環(huán)境中腐蝕速率低于 0.1mm / 年；泵腔內(nèi)壁噴涂陶瓷涂層（厚度 50-100μm），硬度達(dá) HRC60 以上，隔絕氣體與金屬接觸。結(jié)構(gòu)優(yōu)化方面，采用無油潤(rùn)滑設(shè)計(jì)，避免潤(rùn)滑油與氟化物反應(yīng)生成腐蝕性物質(zhì)；設(shè)置氣體冷卻通道，將氣體溫度從 150℃降至 80℃以下，減緩腐蝕反應(yīng)速率。后處理環(huán)節(jié)，在排氣口加裝吸附塔，填充活性氧化鋁與氯化鈣混合吸附劑，吸附未反應(yīng)的氟化物氣體（吸附效率≥95%），避免直接排放污染環(huán)境。采用該方案的設(shè)備，在連續(xù)處理含氟氣體工況下，使用壽命可達(dá) 5 年以上，較普通設(shè)備延長(zhǎng) 3 倍。

螺桿真空泵與羅茨泵組合使用可實(shí)現(xiàn) “粗真空 - 中高真空” 的連續(xù)覆蓋，設(shè)計(jì)需把握三個(gè)**要點(diǎn)。一是抽速匹配，羅茨泵抽速應(yīng)是螺桿泵的 1.5-2 倍，避免因羅茨泵抽速過大導(dǎo)致螺桿泵過載，例如螺桿泵抽速 300m?/h 時(shí)，搭配 500-600m?/h 的羅茨泵**為適宜；二是壓力切換控制，設(shè)置壓力傳感器，當(dāng)系統(tǒng)壓力降至 100Pa 以下時(shí)啟動(dòng)羅茨泵，防止羅茨泵在高壓力下運(yùn)行導(dǎo)致過熱；三是管路優(yōu)化，采用大口徑（直徑≥DN80）無縫鋼管，減少管路阻力，同時(shí)在兩泵之間加裝止回閥，防止羅茨泵停機(jī)時(shí)氣體反流。合理設(shè)計(jì)的組合系統(tǒng)，極限真空度可從螺桿泵單獨(dú)運(yùn)行的 10??Pa 提升至 10??Pa，且抽氣時(shí)間縮短 40%，適配真空鍍膜、太空模擬等高精度場(chǎng)景。

馬德寶真空設(shè)備集團(tuán)有限公司成立于1992年，專業(yè)生產(chǎn)螺桿真空泵系列、羅茨真空泵系列、滑閥真空泵系列、水環(huán)式真空泵系列、往復(fù)真空泵系列及各種真空泵抽氣機(jī)組。經(jīng)過三十年的努力，公司在人才、管理、產(chǎn)品研發(fā)、質(zhì)量控制、市場(chǎng)開發(fā)等方面積累了相當(dāng)大的優(yōu)勢(shì)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于食品、制冷、制藥、化工、石油、冶煉、陶瓷、工藝品、電子、電器、航天、航空、真空鍍膜、真空熱處理、真空爐及其它科研等領(lǐng)域。 公司總占地面積100畝，廠房等建筑面積43000m，現(xiàn)在員工200余人，其中工程技術(shù)人員41人，總公司注冊(cè)資金5010萬(wàn)元，下屬子公司:沈陽(yáng)馬德堡真空設(shè)備制造有限公司，浙江摩泰螺桿真空泵有限公司，臺(tái)州市興華真空設(shè)備制造有限公司，浙江馬德堡壓縮機(jī)有限公司。 公司近年來新建廠房32000m，通過多次技術(shù)改造，配置日本、德國(guó)數(shù)控加工中心及一臺(tái)大型三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、一臺(tái)大型外圓磨床等其他加工設(shè)備共120多臺(tái)，精加工設(shè)有恒溫加工車間，設(shè)備水平在國(guó)內(nèi)真空泵制造行業(yè)處于前列，實(shí)現(xiàn)了數(shù)字化加工及數(shù)字化檢測(cè)。產(chǎn)品精度提高，產(chǎn)品質(zhì)量在國(guó)內(nèi)同行業(yè)中處于前列。