
2025-10-30 00:12:34
晶圓載具用于在制造過程中承載、存儲和傳輸晶圓,常見類型包括晶圓載盒(FOUP)、晶圓傳送盒(FOSB)與晶圓舟。存儲狀態(tài)在晶圓生產(chǎn)周期中時間占比較長。因此,材料選擇非常重要,載具的潔凈度與防靜電性能直接影響晶圓成品質(zhì)量。晶圓載具材料需滿足耐高溫、高機械強度、低吸濕、抗靜電、低出氣、低析出等要求。聚醚醚酮(PEEK)、氟烷氧基樹脂(PFA)、聚丙烯(PP)、聚醚砜(PES)、聚碳酸酯(PC)、聚醚酰亞胺(PEI)等都是滿足需求的常見選材。使用PEEK材質(zhì)的夾持工具操作晶圓時,可大限度減少表面摩擦和顆粒殘留。上海上海華晟塑料定制加工件制品價格

關(guān)于塑料板材的發(fā)展: 塑料板材:應(yīng)用廣性能優(yōu)異 塑料板材 (plastic sheets)是用塑料為原料做成的板材,大量適用于建筑、化工行業(yè),用于化工、環(huán)保、建筑板時有耐磨、耐振動、耐腐蝕、可回收、強度大、抗老化、防水、防潮、不易變形、重復(fù)使用等特點。而且替下的硬塑料托板板,還可以回收加工,較大降低成本。 其中特性尤為突出的是超高分子量聚乙烯,其是一種性能優(yōu)制的工程塑料,如板高的耐磨、抗沖擊性能、很低的磨擦系數(shù)、良好的自潤滑性能,優(yōu)良的耐低溫、耐化學(xué)腐蝕等。上海華晟塑料定制加工件生產(chǎn)廠家華晟pvc板具有非常好的抗腐蝕性、耐油性和電氣絕緣性;

在整個半導(dǎo)體制造過程中,塑料的作用主要是包裝和傳送,銜接著一個個生產(chǎn)步驟。因此包裝傳送過程中減少污染和損壞是提升半導(dǎo)體質(zhì)量的重要方法之一。隨著對于材料的性能要求提高,防靜電PVC、PP、ABS、PI、PC、PPS、氟塑料、PEEK等材料在其中的應(yīng)用愈發(fā)寬泛。潔凈室/無塵室半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,從單晶硅生產(chǎn)到集成電路制造和封裝,都是在潔凈的環(huán)境下進行的。無塵室板通常采用阻燃材料和不容易產(chǎn)生靜電的材料,視窗材質(zhì)還要求是透明的。適用的材料有:防靜電PVC/PP化學(xué)機械拋光(CMP)是晶圓制造的重要工藝,其中用于固定硅片、晶圓的CMP固定環(huán)是較為重要的部件,要求有良好的耐磨耐腐蝕性能以避免損傷晶圓。適用的材料有:PPS、PEEK3.晶圓載具常見的晶圓載具有晶舟、傳送盒等。晶圓在運輸、儲存過程中的環(huán)境是否能維持穩(wěn)定將一定程度影響晶圓質(zhì)量。因此晶圓載具需要有耐溫、防靜電、低析出等性能,可采用的材料有:PP、PEEK、PC、PEI等4.承、導(dǎo)軌等部件半導(dǎo)體加工設(shè)備部件如軸承、導(dǎo)軌等,要求可在低溫至高溫下連續(xù)運行,低磨損和低摩擦,尺寸穩(wěn)定,常用材料有:聚酰亞胺PI5.半導(dǎo)體封裝測試插座測試插座是用于測試集成電路中的微芯片。
工程塑料作為現(xiàn)代工業(yè)的重要材料,以其優(yōu)異的機械性能、耐熱性及耐化學(xué)腐蝕性,寬泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、稀土冶金、航空航天、汽車制造、電子電氣等高精尖領(lǐng)域。常見的工程塑料大體可分為兩類,(1)熱塑性塑料熱塑性塑料,又稱熱軟化塑料,是指溫度上升到一定程度時變得柔韌或可塑,冷卻后再固化的塑性高分子材料。常見的熱塑性塑料有聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚氯乙烯(PVC)、聚苯乙烯(PS)、ABS塑料、聚酰胺(PA)、聚甲醛(POM)、有機玻璃(PMMA)等。(2)熱固性塑料熱固性塑料是指在熱或其他條件下能夠固化或具有不溶(熔融)特性的塑料。常見的熱固性塑料有酚醛塑料(PF)、環(huán)氧塑料(EP)等。聚醚醚酮(PEEK)因其更高的機械強度、尺寸穩(wěn)定性、良好的耐化學(xué)性和耐磨性能被用來制作cmp固定環(huán)。

上海泰晟所供華晟HPVC板除了在晶圓拋光研磨設(shè)備上的應(yīng)用外,其他應(yīng)用場景為:半導(dǎo)體液晶制造設(shè)備:氣流室、自動化潔凈設(shè)備、晶圓處理設(shè)備、石英管潔凈設(shè)備、計量器面板等;無塵室設(shè)備:各種窺視窗材、門材、無塵室隔墻、無塵洞、隔板、風(fēng)道等;電鍍設(shè)備:金屬電解槽、電鍍槽、滾鍍、酸洗凈槽、腐蝕液業(yè)槽、廢液處理槽、槽襯、排氣處理設(shè)備、化骨工風(fēng)機、泵、中和槽、滌氣機等;礦業(yè)、化工設(shè)備:反響吸收設(shè)備、稀土萃取槽、電解槽、貯藏槽、廢液處理設(shè)備、機器外罩等;腐蝕設(shè)備:無菌灌裝設(shè)備視窗、腐蝕設(shè)備圍欄、腐上海泰晟電子提供的塑料非標定制寬泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、稀土冶金、航空航天、汽車制造、電子電氣等領(lǐng)域。上海華晟塑料定制加工件生產(chǎn)廠家
PEEK材料因其高硬度、低顆粒產(chǎn)生、高潔凈度、抗靜電、耐化學(xué)腐蝕、耐磨損等特點,成為光罩盒的良好選擇。上海上海華晟塑料定制加工件制品價格
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